Cumhdach Sprae Ultrasonach: An Modh Cumhdaithe Roghnaithe Don Tionscal Leathsheoltóra

Déanann RPS{0}}sonaic trealamh brataithe ultrasonaic atá tiomanta do theicneolaíochtaí nuálacha agus réitigh spraeáil táirgí a sholáthar do chustaiméirí sa tionscal leathsheoltóra. Soláthraíonn sé réitigh spraeála ultrasonaic chun cinn do mhonaróirí trealaimh leathsheoltóra intíre, do mhonaróirí trealaimh leictreonaice, agus d'institiúidí taighde.

Is croí-theicneolaíocht é spraeáil atomization photoresist ultrasonaic le haghaidh sciath photoresist beacht i ndéantúsaíocht leathsheoltóra agus micrileictreonaic. Is iad na bunbhuntáistí a bhaineann leis ná sciath aonfhoirmeach, scannán tanaí, agus sábháil ábhair.

 

Croíphrionsabal: Déantar fótaróiritheoir leachtach a bhriseadh ina nana- go braoiníní meánmhéide ag baint úsáide as creathadh ultrasonaic. Ansin seachadtar na braoiníní seo go beacht chuig dromchla an tsubstráit (cosúil le sliseog sileacain nó gloine) trí aershreabhadh, rud a chruthaíonn scannán tanaí aonfhoirmeach. Tá an méid droplet á rialú ag an minicíocht creathadh agus slaodacht an photoresist; dá airde an minicíocht, an míne an braoiníní.

 

Príomhluachanna Iarratais: Beachtas Cumhadh Ard: aonfhoirmeacht braoiníní den scoth; is féidir diall tiús scannáin a rialú laistigh de ± 5%, ag oiriúnú do riachtanais bheachtais micrea- agus nana{{-déantúsaíochta.

 

Úsáid Ard-Ábhair: I gcomparáid le sciath casadh traidisiúnta (le ráta dramhaíola ábhartha níos mó ná 50%), ní gá ach méid beag photoresist a bheith ag spraeáil atomization chun an sprioc-thiús scannáin a bhaint amach, rud a shábháil costais.

 

Oiriúnach d'fhoshraitheanna casta: Is féidir é a úsáid le haghaidh foshraitheanna neamh-pleanacha, móra-achar nó múnlaithe neamhrialta a bhratú, ag seachaint an chiumhais-tiubh agus lár-cheisteanna tanaithe de bharr fórsa lártheifeacha sa bhratú casadh.

 

Laghdaíonn sé lochtanna: Tá braoiníní saor ó -thionchar ardbhrú, ag laghdú lochtanna ar nós boilgeoga agus bioráin sa scannán fótaitreachais, ag feabhsú taifeach agus comhsheasmhacht na bpatrún fótailiteagrafaíochta.

 

Feidhmchláir Ghnáthúla:

Déantúsaíocht sliseanna leathsheoltóra: Úsáidtear é le haghaidh bratú mín ar fhótaresist ar dhromchlaí sliseog, ag tacú le croíphróisis ar nós fótailiteagrafaíocht agus eitseáil.

 

Táirgeadh painéil taispeána: Oiriúnaithe le haghaidh sciath photoresist ar fhoshraitheanna OLED, Micro LED, agus feistí eile, ag cinntiú aonfhoirmeacht picteilín.

Micrea{0}}Electro-Córais Mheicniúla (MEMS): Soláthraíonn sé scannáin fhóta-resisteacha beachta le haghaidh déantúsaíocht mhicristruchtúir gléasanna ar nós micreabhraiteoirí agus actuators.

 

Chun an trealamh spraeála atomization photoresist ultrasonaic ceart a roghnú, tá gá le breithniú cuimsitheach ar ilfhachtóirí, lena n-áirítear cruinneas spraeála, tréithe leachtacha, cineál trealaimh, agus cineál nozzle. Seo iad na príomhphointí roghnúcháin:

 

Riachtanais Bheachtais Spraeála: Chun scannáin tanaí nanascála a ullmhú, mar spraeáil fhóta-resist ar sliseog leathsheoltóra, tá soic adamhúcháin 100-12kHz oiriúnach. Ligeann siad seo do rialú beacht ar rátaí sreafa an-íseal agus ar cháithníní adamhacha ultra-mhín. Chun bratuithe aonfhoirmeacha leibhéal miocrón amháin a ullmhú, tá soic atomization 40-60kHz níos éifeachtaí, ag cothromú ráta sreafa agus éifeachtúlacht spraeála agus ag an am céanna leibhéal áirithe cruinneas a chothabháil.

Tréithe Leachtacha: Is breithniú ríthábhachtach é slaodacht an fhótaileictreach. Le haghaidh slaodachta íseal (<30cP) photoresists, 100-120kHz is appropriate; while for medium-to-high viscosity (30-50cP) photoresists, 40-60kHz is more suitable. Furthermore, the volatility and corrosiveness of the photoresist must be considered. If the photoresist is corrosive, an external atomization nozzle should be selected.

 

Cineál Trealaimh: Le haghaidh táirgeadh baisc bheag nó déantúsaíocht scannán achar tanaí sa tsaotharlann, tá córas brataithe spraeála de ghrád beag atá éasca le hoibriú sa tsaotharlann, mar an RPS{6}SONIC{{7}P400, oiriúnach. Le haghaidh línte táirgeachta ar mhórscála, tá gá le córas brataithe spraeála de ghrád urláir, mar an RPS{13}}SONIC-P 490. Is féidir an córas seo a fheistiú le córais iolracha nozzle chun spraeáil achair mhóra a bhaint amach, ag brath ar an achar riachtanach.

 

Cineál an Toinne: Más leathsheoltóir neamh-phleanánach é an tsubstráit le micrstruchtúir dromchla, is féidir soc scaipthe ultrasonaic a roghnú. Is féidir leis dromchlaí ingearacha nó cuartha a spraeáil le huillinneacha. Maidir le-spraeáil fhóta-resist mór-limistéar, mar spraeáil cealla gréine tanaí scannáin, tá nozzle ultrasonaic spraeála leathan níos oiriúnaí. Scaipeann agus atreoraíonn a dhearadh cainéal sreafa speisialta an gás iompróra, rud a fhágann go ndéantar an ceo leacht atomized ultrasonically a spraeáil i gcruth lucht leanúna, rud a leathnaíonn an leithead spraeála.

 

Minicíocht Ultrasonach: Tá tionchar cinntitheach ag minicíocht ar mhéid na gcáithníní atomized agus ar chaighdeán an sciath. Is féidir le minicíochtaí arda (mar shampla thuas 100kHz) braoiníní níos lú agus níos comhionann a tháirgeadh, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach chun bratuithe tanaí aonfhoirmeacha a ullmhú le réidh le dromchla ard, greamaitheacht láidir agus dlús maith. Tá sé seo infheidhme maidir le réimsí a bhfuil ceanglais bheachtais an-ard acu, amhail micrileictreonaic. Mura bhfuil na ceanglais maidir le haonfhoirmeacht sciath go háirithe déine agus go bhfuil gá le méid sciath mór, is féidir gléas minicíochta níos ísle a roghnú.